▲ 호리바에스텍코리아 회사 전경

호리바에스텍코리아 주식회사(대표이사 김성환)가 반도체용 특수가스 질량유량 제어기기(MFC, Mass Flow controller)의 국내 생산 체제를 강화한다.

호리바에스텍코리아는 하이엔드 모델(High-End-Model)의 D500 시리즈를 올 6월부터 국내 생산한다고 17일 밝혔다.

코로나19 확산으로 재택근무, 원격 근무 증가 등 5G 기술에 대한 투자의 가속화로 2021년에도 반도체 호황이 예상되는 가운데 호리바제작소의 반도체 사업 계열사인 호리바에스텍(일본 교토시 소재, 대표이사 코이시 히데유키)은 반도체 업계를 선도하는 한국 시장에 더 집중하고자 한국 법인인 호리바에스텍코리아의 역량 강화를 결정했다.

이번 결정은 한국 반도체 파운드리의 소재·부품·장비 부분을 강화하려는 한국 정부 방침에 동참하면서, 한국 반도체 시장 확대에 더 빨리 대응하고 협력하기 위한 호리바에스텍의 결단이다.

이에 호리바에스텍은 기존 생산 제품에 호리바그룹 내 반도체 사업 부문의 대표 제품인 하이엔드 모델 MFC D500 시리즈를 기존 제품 수량들과 합해 월 1,000대를 목표로 한국에서 생산할 예정이다.

반도체 제조 공정에서 가스 공급의 정밀 제어에 중요한 역할을 하는 MFC는 증착 및 식각 등의 과정에서 활용되며 반도체 제조 장치의 컴포넌트(Component)로서 중요한 역할을 하고 있다.

D500시리즈는 공급되는 가스의 압력 차이를 센서에 적용해 유량을 조절하며, 고정밀 제어, 고속 응답을 실현하는 하이엔드 모델 MFC이다. 최근 메모리 반도체 IC 및 로직 IC의 다층화, 미세화, 축소화에 따른 기술에 대응하며 반도체 산업에 이바지하고 있다.

반도체 제조공정에 사용되는 수십여종의 일반 불활성 가스 및 독성 가스에 대해 전부 대응하고 있으며 특수가스의 경우 예를 들면 SiCl4 등 음압가스, C4F6, C4F8 등 저압가스 가스 등등 고객사에서 사용되는 공급압력, 2차측 압력, 히팅 온도, 풀스케일, 요청사항을 고려해 사용할 수 있도록 설계 및 제작이 가능하다.

일반적으로 D500 모델의 경우 110∼750kpa(A)의 광범위한 공급압력에 대응 가능하다.

한편 한국 생산 강화 전략은 그룹 내부적으로 ‘반도체 부분은 한국이 주요 거점’이라는 인식을 공유하고, 고객 맞춤형 대응을 하기 위한 방안이자 2019년에 설립한 연구·개발(R&D) 센터에 투자하기 위한 노력이기도 하다. 이를 통해 반도체 분야의 성장에 속도를 내면서 애플리케이션 및 생산 능력을 함께 확대한다는 것이다.

호리바에스텍코리아는 현재 생산 기술 능력, 품질 인증 레벨을 통일화를 위해 본사 생산 시스템에 대한 교육 이수 및 품질 인증 관리 감독 강화를 추진하고 있다. 반도체 시장 호황에 따른 제품 대량 주문에 대비해 적재적소한 납기 대응과 다변하는 기술에 빠르게 대응하는 것이 또 하나의 목적이다.

호리바그룹에서 한국 반도체 사업은 호리바에스텍코리아가 맡고 있으며, 이외에 △자동차 △환경 △이과학 △의료 사업은 호리바코리아 주식회사(경기도 안양시 만안구 소재, 대표이사 우라베 히로유키)가 맡고 있다.

호리바에스텍코리아는 일본에 본사가 있지만 한국에 바탕을 둔 한국형 기업으로서, 호리바그룹의 반도체 기술을 바탕으로 한국의 반도체 사업 시장에 공헌하고 있다. 전 세계 MFC 시장에서 약 60%(2019년 12월 기준, 자사 통계) 점유율을 차지하는 호리바그룹은 앞으로도 글로벌 레벨의 공급력 강화를 추진하고, 점유율을 확대해 나아간다는 계획이다.