▲ 인테그리스 코리아 황현 영업 부사장이 `PrimeLockⓡ ESD Elbow Union`에 대해 설명하고 있다.

반도체 소재 및 프로세스 솔루션 기업인 인테그리스가 반도체 미세 공정화에 따른 다양한 제품 포트폴리오를 통해 고객사들의 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

인테그리스의 한국법인 인테그리스 코리아는 9일부터 11일까지 강남 코엑스에서 개최된 세계적인 반도체 전시회인 ‘세미콘 코리아2022’에 참가해 반도체 장비에 들어가는 필터, 밸브, 피팅 부품과 용기 등을 선보였다.

반도체 미세공정화가 진행되면서 제조 공정에 사용되는 재료수가 급증했고, 반도체 수율과 직결되는 정제된 소재 사용과 오염방지를 차단하는 것이 반도체 산업에서 주요 화두가 되고 있다.

이에 인테그리스는 반도체 장비 내 필터, 밸브와 피팅, 배관과 같은 유체를 관리하는 부품 생산부터 △공정 약액 분사, 제어, 분석, 운송 시스템 △용액 및 팹 여과 제품 △유독 가스 보관, 공급 시스템 △웨이퍼 오염 및 파손 방지 캐리어 및 운송용기 △반도체 증착 공정 가스 및 전구체 등 반도체 △ 특수 코팅 등의 토털 솔루션을 제공하고 있다.

전시회에서 선보인 인테그리스의 라이너 기반 용기 NOWPakⓡ은 유리용기를 대체 할 수 있는 안전한 방법이다. 그동안 유리용기는 화학물질의 운반 및 보관 용도로 널리 사용됐다. 그러나 최근 반도체 팹에서 유리용기에 보관된 화학물질의 안전과 무결성에 대한 문제가 야기 되고 있다.

유리용기는 쉽게 파손돼 비용 문제와 누출로 인한 팹가동 중단, 실리콘 기반 유리에서 나온 미량의 금속은 화학물질에 용출되는 문제점이 있다. 인테그리스의 NOWPakⓡ은 가볍고 운송비가 저렴하며 쉽게 파손되지 않는 장점이 있다.

인테그리스의 PrimeLockⓡ ESD Elbow Union은 가연성 용매 및 기타 비전도성 반도체 화학 물질의 전하를 지속적으로 제거해야 하는 고순도 및 화학적 부식성 응용 분야에서 누출 없는 성능을 제공한다.

인테그리스는 다양한 핵심 역량을 글로벌 제조 및 기술 센터 네트워크를 통해 지원하고 있으며, 우수한 소재 및 공정 순도를 제공해 고객사의 프로세스 성능 및 수율을 개선시키는데 일조하고 있다.

인테그리스 코리아 황현 영업 부사장은 “인테그리스는 끊임없는 연구개발과 선제적인 투자를 통해 반도체 등 첨단 산업 경쟁력 강화에 지속적으로 기여할 것”이라고 밝혔다.

한편, 인테그리스는 미국 메사추세츠주 빌레리카에 본사를 두고 있으며 1966년에 창립해 55년 동안 고객사에게 다양한 솔루션 제공과 협업을 기반으로 한 혁신적인 제품을 개발해 공급하고 있다. 지난해 기준으로 매출 2.5조를 달성했고 6,500명의 임직원을 보유하고 있다.

또한 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 대만, 한국 등에 제조시설, 고객 서비스 및 연구 시설등의 인프라를 갖추고 있으며, 2,550건 이상의 특허를 보유하고 있다.

▲ 세미콘코리아 2022에 참가한 인테그리스의 부스 전경