▲ 7월 6일부터 8일까지 열리는 `나노코리아 2022`에 참가한 나노종합기술원 부스 전경

국내 나노 기술 및 산업 발전에 기여하고 있는 나노종합기술원(원장 이조원)이 반도체 테스트베드, 시스템반도체 지원 플랫폼 기술, 나노 및 반도체 전문 인력 양성 교육 프로그램 등을 ‘나노코리아 2022’에서 중점 홍보했다.

나노종합기술원은 7월 6일부터 8일까지 3일간 일산 킨텍스에서 열린 나노코리아 2022에 참가해 12인치(300㎜) 반도체 테스트베드 운영과 시스템 반도체 및 IoT 센서 연구개발 등에 대해 소개해 관람객들의 이목을 집중 시켰다.

나노종합기술원은 국가 나노기술 연구개발 경쟁력 확보를 위해 연구장비 공동활용, 나노전문인력 양성과 연구성과 실용화를 지원하는 나노인프라 기관으로 2004년에 설립됐다.

나노종기원은 연간 700여개 기관, 3,000여명 산학연 연구자를 대상으로, 반도체, IoT센서, 나노바이오 등 관련 원천기술과 상용기술 개발을 지원하고 있다.

▲ 나노종합기술원은 지난해 3월 12인치 반도체 소부장 테스트배드를 구축해 운영하고 있다.

지난해 3월 나노종기원은 국내 처음으로 해외 의존도가 높은 반도체 소재·부품·장비의 국산화 지원을 위해 12인치 반도체 소부장 테스트배드를 구축해 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

지난해 말 12인치 반도체 테스트베드 이용실적은 총 1,226여건이며, △반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화 △반도체 PECVD 장비 국산화(아이에스티이)성과 등을 달성했다.

최근 나노종기원은 삼성이 보유한 12인치(300㎜) 반도체 장비 3대를 이전 설치한다고 밝혔다. 글로벌 반도체 기술 경쟁의 핵심인 12인치 장비는 핵심 인프라로, 나노종기원은 반도체 시설을 활용해 중소·중견 기업의 반도체 기술 성장 촉진에 기여할 것으로 기대된다.

나노종기원은 국내 시스템 반도체 산업 육성을 위해 차세대 지능형 반도체 및 IoT 센서 연구개발에도 적극 지원하고 있다. 올해 상반기 까지 180㎚ CMOS Technology에 대한 모듈 및 직접공정 기술에 대한 신뢰성 제고 및 PDK(Process Design Kit)를 구축하고 하반기부터 다수의 연구프로젝트를 지원하는 MPW(Multi-Project-Wafer)를 지원한다.

▲ 나노종합기술원에서 추진하고 있는 나노 및 반도체 전문 인력 양성 사업

또한 나노종기원에서는 나노·반도체 전문 인력 양성에도 나서고 있다. 올해 8월부터 12월까지 대전 내 특성화고 3학년을 대상으로 반도체 직무 현장 맞춤형 교육(500시간 이상)을 실시하고, 이공계 대졸 예정자 및 미취업자를 대상으로 반도체 이론 및 소자 제작 실습 교육 프로그램을 진행한다.

나노종기원은 ‘미래를 혁신하고 산학연 연구자들의 꿈을 실현시키는 인프라 기관’으로 발돋움해 ‘세계 최고 나노종합 지원기관 글로벌 Top.3 아시아 No.1’으로 도약한다는 비전을 설립했다.

이를 달성을 하기 위해 대형장비 공동활용 확대, 글로벌 선도기술 확립, 고객가치 창출 및 산업화 선도, 선진 경영환경을 구축해 국가 나노기술 상용화를 위한 R&DB(사업화연계기술개발) 거점기관으로서의 역할에 최선을 다하고 있다.