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  • 기사등록 2022-12-01 09:35:13
  • 수정 2022-12-01 16:39:47
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소재 국산화를 선도하고 있는 특수가스 전문기업 티이엠씨(TEMC, 대표 유원양)가 반도체 이온주입용 안전용기 특허 소송에서 최종 승소해, 그 동안 다국적 기업들이 독점하던 이온주입용 안전용기 시장에서 독자 기술력을 인정받은 국산화 제품의 양산공급 확대가 기대된다.


티이엠씨는 미국 인테그리스(Entegris)가 티이엠씨에서 개발한 SCV(Safety Cylinder Valve) Package에 대해 제기한 특허권침해금지소송 및 그와 관련해 지난해 티이엠씨에서 제기한 2건의 안전용기 특허무효 소송에서 티이엠씨가 모두 승소했다고 최근 밝혔다.


반도체 공정에 사용되는 맹독성의 이온주입용 특수가스의 경우, 임플란트(Implant) 장비가 운전되는 클린룸(Clean Room) 안에 장착되어 사용된다. 안전용기는 궁극적으로 가스누출을 원천적 차단하는 특수용기를 의미하며, 장착된 밸브를 작업자가 실수로 열더라도 기계적인 설계를 통해 외부로 가스가 흘러나오지 않는다.


최근에는 반도체 공정 개발에 따라 전통적으로 사용해오던 불화붕소(11BF3) 이외에도 일산화탄소(CO), 제논(Xe) 등도 안전용기에 충전돼 반도체 고객사로 공급되고 있다.


티이엠씨는 독자기술로 안전용기를 개발해 국산화에 성공하였고, 2020년부터 고객사에 양산공급 해오고 있다. 이전에는 인테그리스와 린데(Linde)가 전 세계적으로 공급해오고 있었다. 인테그리스는 티이엠씨가 반도체 제조사에 공급하는 안전용기가 인테그리스의 특허를 침해했다고 주장하며 특허권 침해 금지 및 손해배상 소송을 제기했다.


티이엠씨는 특허심판원에 특허무효 심판을 청구해 특허법원에서 최종 승소했고, 추가적인 항소가 없어 소송이 완전히 종결함에 따라 티이엠씨 SCV Package의 시장 확대가 더욱 가속화될 것으로 기대된다.


티이엠씨 관계자는 “모든 고객사에 안정적인 소재 공급을 통해 해외 의존도를 낮출 수 있도록 완전 국산화를 실현하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하는 목표”라며, “신규 제품군을 확대하는 한편, 희귀가스 재활용, 초저온 가스 생산 확대 등 다양한 비즈니스 모델을 구축해 나가며 영업을 확대하고 해외진출을 통해 고객 다변화에 박차를 가하겠다”고 밝혔다.

한편, 티이엠씨는 2015년 설립된 국내 토종 특수가스 전문 제조회사다. 특수가스의 완전한 국산화를 지향하면서 기술개발에 전념해온 티이엠씨는 국내 최초로 네온(Ne)의 포집·분리·정제 기술을 국산화해 반도체 노광공정용 레이저가스를 제조하고 있다. 또한 관련기술을 고도화하여 제논(Xe), 크립톤(Kr)의 국산화 프로젝트를 진행하고 있다.


지난 5월에는 국내 최대 규모의 디보란(B2H6) 합성·정제 공장에서 생산된 제품을 국내 모든 12인치 웨이퍼(Wafer) 메모리 반도체 고객사에 공급을 시작하면서 또 한번 기술력을 증명했다.

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