▲ `나노코리아 2023`에 참가한 나노종합기술원 부스 전경

나노기술관련 연구개발 및 사업화를 지원해 국가 산업 발전에 일조하고 있는 나노종합기술원(원장 박흥수)이 반도체, 에너지, 바이오 등 다양한 분야에서 활용되고 있는 나노 기술들을 ‘나노코리아 2023’에서 소개해 관람객들의 이목을 끌었다.

나노종합기술원은 7월 5일부터 7일까지 3일간 일산 킨텍스에서 열린 나노코리아 2023에 참가해 △반도체 FAB 서비스 △시스템IC △센서 △분석 등 기술원에서 지원하고 있는 사업을 바탕으로 전시관을 꾸몄다.

나노기술은 모든 산업에 혁신을 유발하는 고부가가치 산업으로서 전통산업과 첨단산업의 연결고리 역할을 하며, 정보통신기술(IT), 생명공학기술(BT), 환경기술(ET) 등을 융합시켜 새로운 혁신기술을 창출하는 미래 성장산업의 원동력이다.

나노종합기술원은 국가 나노기술 연구개발 경쟁력 확보를 위해 연구장비 공동활용, 나노전문인력 양성과 연구성과 실용화를 돕는 나노인프라 기관으로, 연간 700여개 기관, 3,000여명 산학연 연구자를 대상으로, 반도체, IoT센서, 나노바이오 등 관련 원천기술과 상용기술 개발을 지원하고 있다.

2004년에 설립돼 반도체를 기반으로 다양한 분야에 걸친 기술과 역량을 보유하고 있는 나노종합기술원은 세계 최소형 3nm급 FinFET(나노전자소자) 공동개발을 시작으로 차세대 퓨전메모리(U-RAM), 3D IC 상용화 기술, 20nm 갭 집적식 나노소자, 50nm급 분광센서 등을 개발했다.

▲ 나노종합기술원이 반도체 소재,부품, 장비 국산화를 위해 기술 개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

2021년에는 국내 최초로 해외 의존도가 높은 반도체 소재·부품·장비의 국산화 지원을 위해 12인치 반도체 소부장 테스트배드를 구축해 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다. 2021년 말 기준 테스트베드 이용실적은 총 1,226여건이며 △반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화 △반도체 PECVD 장비 국산화(아이에스티이)성과 등을 달성했다.

또 반도체 테스트베드를 활용한 기술 실용화를 위해 ‘테스트베드 소재부품장비 공동기술개발 사업’을 진행하고 있다. 매년 정부 출연금 50억원을 확보해 기업의 기술개발 수요에 대응한 14개의 SBID 과제를 선정, 공정·분석 기술을 지원하고 있다.

이를 통해 2021~2022년에는 △다채널 플라즈마 공정 모니터링 시스템 △환형 수광부 구조의 실리콘 광검출기 △Cu 배선용 SiCN PECVD 증착 시스템 △ArF 패터닝용 High-K 하부 반사 망지막 등 수요연계 양산 기술개발에 성공했다.

▲ 나노종합기술원은 MEMS 센서 등 개발과 사업화 지원에도 적극 나서고 있다.

이외에도 나노종기원은 △시스템 반도체 신물질·신공정·신소자 개발 △MEMS(미세 전자 기계시스템) 센서 개발 △바이오 센서 개발 △구조·성분·제품 분석 서비스 등을 지원해 기업의 성장 및 경쟁력 확보에 적극 나서고 있다.

또한 나노종기원에서는 나노·반도체 전문 인력 양성에도 나서고 있다. 이공계 대학생 및 석사원 졸업예정자 및 미취업자, 재직자를 대상으로 실리콘계 나노소자공정 및 측정분석 실습을 실시하고, 이공계 대졸 예정자 및 미취업자를 대상으로 반도체 이론 및 소자 제작 실습 교육을 진행한다.

향후 나노종기원은 미래 배터리 초격차 기술 확보를 위해 과기정통부의 지원(2023년~2027년)을 받아 반도체 공정(8인치) 기반 전고체 배터리 플랫폼 기술개발을 추진할 계획이다.