▲ 일반 산업용 액화수소 공급 실증개요(SK머티리얼즈 에어플러스)

린데코리아와 SK머티리얼즈 에어플러스가 국내 최초로 액화수소를 반도체 공정에 활용할 수 있는 실증사업을 추진해 수소 공급 효율성 향상 및 수요 확대에 기여할 전망이다.

산업통상자원부(장관 안덕근)는 29일 서울 대한상공회의소에서 개최된 ‘24년 ’제1차 산업융합 규제특례심의위원회‘에서 반도체 공정용 액화수소 공급 실증, 액화수소 추진선용 저장탱크 모형개발 등 총 21개 과제를 심의·승인했다고 밝혔다.

이날 심의를 통해서 SK머티리얼즈 에어플러스, 린데코리아는 액화수소를 반도체 공정에 활용할 수 있는 ‘산업용 액화수소 공급 실증’에 착수한다.

현행 ‘고압가스안전관리법’ 상 액화수소 저장‧배관에 의한 수소 공급시설 구축에 필요한 시설‧기술‧검사기준이 없어 시공‧운영 불가하며, 액화수소 저장탱크 등 주요설비의 시설·기술·검사기준이 없어 사업화가 불가능했다. 위원회는 안전관리계획 마련 후 자체 안전위원회를 통해 실증사업 안전성 검증 실시 등을 전제로 특례를 승인했다.

이에 따라 양사는 용인반도체클러스터, 평택 등 공장부지에 액화수소 저장시설을 갖추고 전용 탱크로리로 운송 받은 액화수소를 저장 후 기화해 전용 배관을 통해 반도체 공정에 공급한다. 액화수소는 기체수소 저장에 비해 설치·저장 효율을 크게 높일 수 있으며, 올해 액화수소 플랜트 상업운영이 본격화됨에 따라 수소 산업생태계 활성화에 기여할 전망이다.

산업부는 이번 실증을 통해 나노 반도체 제조 장비인 EUV(극자외선 공정) 세척 가스로 공정 효율 제고 및 부품 산화 방지를 위해 필수적으로 사용되고 있는 수소의 공급 안정성이 제고될 것으로 기대했다.

SK머티리얼즈 에어플러스 관계자는 “이번 승인을 통해 생산·운송에 이어 공급까지 액화수소의 벨류체인이 완성됐고 저장용량이 10배 증가하여 효율적인 수소 공급이 가능해졌다”고 말했다.

한편 액화수소 추진선 개발을 위한 저장탱크의 성능 테스트용 모형개발도 실증에 들어간다. 이에 따라 부산대와 한텍은 중소형 크기의 액화수소 추진선용 저장탱크의 모형탱크를 제작·설치 후 액화수소 충전테스트를 통해 단열성능, 안전성 및 성능시험을 실시한다.

그간 용기 검사기준이 없어 사업화가 어려웠던 수소 운송용 Type 2 저장용기 운송 실증도 추진된다. Type 2는 금속 재질 라이너에 유리(탄소)섬유 복합재료를 보강한 용기로 고압·대용량 저장 운송이 가능하다. 비트코비체실린더즈코리아 및 포스코플랜텍 컨소시엄은 저상 밀폐형 전용 컨테이너에 Type2 용기를 장착한 전용 트레일러 1기를 개발해 수소 운송 실증에 나선다.

안덕근 산업부 장관은 “혁신기술로 신산업에 도전하는 기업들을 제도적으로 뒷받침하면서 불합리한 규제는 끝까지 발본색원하고 선제적으로 글로벌 기준을 이끄는 시스템을 구축해 기업활동의 자유가 충분히 보장될 수 있도록 지속적으로 노력하겠다”고 밝혔다.