▲ ▲충남 천안에 위치한 (주)제니스텍의 공장 전경. ▲충남 천안에 위치한 (주)제니스텍의 공장 전경

(주)제니스텍이 반도체 공정에 사용되는 NO(일산화질소)를 국내 최초로 합성·정제에 성공해 국내외 반도체 특수가스 시장에서 주목받는 ‘신인’으로 부상하고 있다.

충남 천안에 위치한 제니스텍(대표이사 김준성)은 약 2,000여평 부지에 지난해 9월 NO 제조공장을 완공한 후 올해 4월부터 NO 생산에 돌입했다. 회사가 생산하고 있는 NO의 순도는 4N(99.99%)으로 반도체 회사에서 요구하는 3N보다 높은 수준이다. 또한 고순도임에도 불구하고 제조원가는 타사 대비 절감했다는게 회사 관계자의 설명이다.

이러한 고품질·저원가의 비밀은 독자적인 제조공법에 있다. 기존 NO제조공법은 고온, 고압이 필요한 암모니아 산화방식으로서 그만큼 사고의 위험과 함께 막대한 투자가 필요해 원가경쟁력 확보에 어려움이 있다.

그러나 제니스텍이 채택한 공법은 암모니아를 사용하지 않으며 기존 공정 대비 상온, 저압에서 연속적으로 NO 합성, 제조가 가능해 고순도 제품을 보다 저렴한 가격에 생산이 가능하다. 회사 관계자 “이 공법은 특허가 획득돼 있어 회사만의 강점이자 후발주자에 높은 기술장벽으로 작용할 것”이라고 설명했다.

제니스텍의 월간 NO 생산능력은 47리터 실린더 기준으로 현재 저순도 기준 600병, 3N5 이상의 고순도는 300병이다. 아직 매출로 이어지지는 않았지만 몇몇 반도체 업체에서 제니스텍의 NO 샘플을 테스트할 예정인 것으로 전해지고 있다.

특히 최근 한국메티슨특수가스(주)(대표 마크 프루시키)와 NO 해외 독점판매권 계약을 체결, 아시아 시장 유통망을 확보해 향후 제니스텍의 사업은 날개를 달게 됐다.

제니스텍은 NO 판매와 수요 상황을 살펴 올 하반기 탱크 추가설치와 함께 공장을 추가 건설할 계획을 갖고 있다. 내년 3월경 증설이 완료되면 월간 회사의 생산규모는 저순도 1,200병, 고순도 800병에 달할 전망이다.

김준성 제니스텍 대표는 “NO는 플래시 메모리 제조공정에 쓰이는 핵심 가스인 만큼 관련 시장이 커질 것으로 예상한다”며 “전량 수입에 의존해오던 NO를 국산화에 성공함으로써 수요처들의 수급 및 가격불안을 경감, 반도체 강국인 우리나라의 경쟁력 강화에 기여하게 돼 기쁘다”고 밝혔다.