반도체 공정에 사용되는 NO(일산화질소)를 국내 최초로 합성·정제에 성공한 바 있는 (주)제니스텍이 최근 반도체 제조회사에 제품 공급이 임박한 것으로 알려졌다.

회사측은 국내외 반도체 제조회사에 테스트를 위한 NO 샘플 공급을 마쳤다고 최근 밝혔다.

제니스텍(대표이사 김준성)은 독자적인 제조공법을 확보하고 올해 4월부터 4N(99.99%)수준의 고순도 NO 생산에 돌입한 바 있다. 월간 NO 생산능력은 47리터 실린더 기준으로 현재 저순도 기준 600병, 3N5 이상의 고순도는 300병이다.

제니스텍은 탱크 추가설치 및 플랜트 확장으로 향후 생산량을 늘려간다는 계획이다.

한편 NO는 플래시메모리 소자의 게이트 형성시 사용되는 소재로서 공정 미세화로 더욱 수요가 늘고 있는 핵심가스다. 최근 휴대용 모바일 기기 수요가 증가하면서 낸드 플래시메모리 생산은 증가세를 보이고 있다.