에어리퀴드가 첨단 전구체(precursors) 생산 능력을 2배로 증가시키며 회사의 반도체 소재 솔루션인 ‘ALOHA™’를 강화하게 됐다.

반도체, 태양광전지 및 평판 디스프레이 시장에 초고순도 가스와 전구체 등은 물론 관리 솔루션을 제공하고 있는 에어리퀴드 전자사업부는 미국 캘리포니아, 프랑스 살롱, 일본 쓰쿠바의 제조 시설확장을 성공적으로 완료했다고 지난 12일 발표했다. 이번 시설확장을 통해 에어리퀴드는 첨단 전구체 생산 능력을 2배로 증가시키고 다양한 제품을 생산할 수 있게 됐다.

이번 시설 확대는 반도체 제조가 나노스케일 수준이 되면서 다양하고 가속화되고 있는 고객 수요를 맞추기 위해 추진됐다. 에어리퀴드 전구체 기술은 마이크로일렉트로닉스 제조에 사용되는 박막 재료의 전기 및 기계적 성능 향상에 도움을 준다.

특히 미국에 위치한 프리몬트 시설의 첨단 전구체시설 생산 면적은 배로 늘었고 첨단 증착 재료의 개발과 확대를 목표로 고객 및 기술 제공업체들과의 공동 개발 프로젝트를 수행하기 위한 새 실험실도 마련됐다.

에어리퀴드 전자사업부는 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 및 화학기상증착(Chemical Vapor Depositon, CVD) 전구체 및 소재 솔루션 라인업을 일컫는 브랜드인 ‘ALOHA™’을 통해 ZyALD™(고급 D램용 전구체), 실리콘 전구체, High-k/메탈게이트 전구체, 금속화 전구체(Metallization precursors), Low-k(저유전율) 전구체와 보조 물질, 신소자용 신물질 등을 생산·판매하고 있다.

에어리퀴드 전자사업부의 부사장 프란시스코 마틴스(Francisco Martins)는 “에어리퀴드는 첨단 반도체 기술을 위한 차별화된 첨단 제품에 막대한 투자를 해왔고 현재 그것이 결실을 맺고 있다”며 “AHOHA 제품군은 첨단기술 생태계에서 갈수록 중요한 역할을 수행할 것이고, 에어리퀴드는 글로벌 기술 제공자로서 지원과 성장을 지속할 것”이라고 말했다.