Update2024.05.07 (화)
국내 최대 규모의 반도체생산기술전시회인 ‘세미콘코리아 2012’와 국내 유일 LED 생산기술전시회인 ‘LED코리아 2012’가 성황리에 막을 내렸다.
지난 7일부터 9일까지 코엑스에서 국제반도체장비재료협회(SEMI, 한국대표 조현대) 주최로 열린 이번 전시회는 총 500개사가 1,600부스로 참여했으며 전시회 기간 중 총 3만5,000명이 방문해 국내외 반도체 및 LED산업의 동향과 미래를 한자리에서 확인하는 기회를 가졌다.
특히 올해 25주년을 맞이한 세미콘코리아는 ‘Driving the Electronics Revolution’을 주제로 반도체 전공정, 후공정 및 재료부품을 포괄하는 장비재료산업의 전 분야를 소개했다. 세미콘코리아는 역대 최대규모인 20개국 400여개사가 1,372부스 규모로 참여했으며 해외업체 비중도 전체 42%에 달해 눈길을 끌었다. 이에 대해 조현대 대표는 “한국 반도체기업이 투자규모를 늘리고 있고 위상도 그만큼 높아졌다는 증거”라고 밝혔다.
세미콘코리아는 비즈니스 기회를 창출함은 물론 기술 및 시장에 대한 전망을 제공하고 논의하는 공유의 장이 됐다.
첫날 기조연설에서는 UC버클리대학의 천밍 캐빈 후 교수가 차세대 소자로 주목받고 있는 ‘FinFET(Fin Field Effect Transistor)’를, IMEC의 뤽 반 데 호프 CEO가 ‘반도체, 지속가능한 핵심기술’에 대해 각각 주제발표했다.
올해 처음 전시장내에 TechXPOT(텍스팟)이 마련돼 관람객들에게 MEMS, 인쇄전자, 레이저기술, ESD, 테스트 등 반도체산업의 뜨거운 이슈와 신기술들이 무료로 소개됐다. 이밖에도 △반도체설계, 제조, 패키징, 테스트 및 신뢰성 검사에 이르는 기술 동향을 살펴볼수 있는 반도체공정 기술심포지엄 △세계 리서치전문기관들이 반도체 제조공정, 장비재료시장 전망, LED 시장 전망을 발표하는 마켓세미나 △중고장비시장 전망과 구매전략을 살펴보는 중고장비포럼 △시스템반도체 전문가인 경종민 카이스트 교수의 자문아래 미래 반도체 산업에서 각광받을 3D IC의 기술동향 및 전망을 다룬 시스템 LSI포럼 등도 함께 열렸다.
세미콘·LED코리아 2012 ‘성료’
방문객 3만5천명, 해외업체 비중 42%
반도체산업으로의 취업을 희망하는 구직자들과 우수 인재확보를 노리는 기업들을 위한 부대행사로 7일과 8일 양일간 ‘반도체산업 채용설명회’가 열렸다. 올해 처음 열리는 이번 설명회에는 어플라이드 머티어리얼즈코리아, 동부로봇, 동진세미켐, 이화다이아몬드, 원익IPS, 원익머트리얼즈, 원익IPS, KCC, 우원테크 등을 비롯한 글로벌 반도체기업 22개사 인사담당자들이 참석해 회사소개 및 채용계획을 밝히고 지원자와 인터뷰를 진행했다. 취업난 속에서 이처럼 쟁쟁한 기업들이 나섰음에도 불구하고 홍보 부족과 주최측의 진행 미숙으로 인해 아쉬운 부대행사가 됐다. 설명회장은 업체 담당자들이 자리를 대다수 지키고 있고 면접실에는 지원자가 한두명씩 드문드문 나타나는 상황이 이어졌으며 당초 예상 참여기업들 중 일부기업은 나타나지 않아 반쪽짜리 행사로 전락했다.
LED코리아에는 국내외 60개사가 170개 부스로 출품했다. 최신 LED 기술동향, 어플리케이션, 제조솔루션을 다룬 컨퍼런스에서는 삼성LED, LG이노텍, 비코, 한국산업기술대학교, 한양대, ETRI, 다우케미칼, 삼성종합기술원 등을 비롯한 글로벌 주요 LED업체들이 강사진으로 나서 업계가 주목하는 최신 6인치 GaN 실리콘 기술, LED 패키징, 레이저 스크라이빙, 에피택셜 공정, 최신 재료 등에 관해 심층 논의했다.
■고어
고성능 섬유소재인 고어텍스(GORE-TEX)로 유명한 세계적인 기술 선도기업 고어는 이번 전시회에 반도체, 평판 디스플레이 산업에 사용되는 고순도케미컬 공정용 HDPE(High-Density Polyethylene) 카트리지 필터 신제품을 선보였다. 이 제품은 차세대 ePTFE(expanded Poly Tetra Fluoro Ethylene) 멤브레인 기술을 적용해 업계 최고의 입자 제거율과 고유량 성능 간에 최적의 조화를 제공한다.
고어의 PTFE/HDPE 필터는 0.1μm, 30nm, 20nm 등 총 3가지로 제공되는데 세계 최초로 나온 20nm 필터의 경우 업계 최고 성능의 0.05μm PTFE 멤브레인 필터보다 입자제거 성능이 향상됐음에도 유사한 유량을 제공한다. 이에 고객사들은 필터의 개수를 현재보다 줄일수 있게 돼 원가절감에 크게 기여할 것으로 전망된다.
또한 기존 하우징에 설치된 필터와 손쉽게 교체할 수 있으며 공정 생산성을 높이거나 또는 필요한 필터 수량을 최소화할 수 있기 때문에 높은 회전율의 재순환 필터 시스템이나 고용량 케미컬 충진 및 포장 최종 필터로 적용하면 큰 효과를 볼 수 있다.
한상윤 고어코리아 산업제품 사업부장은 “고어의 HDPE 카트리지 필터는 혁신적인 성능 향상으로 현재 동급의 입자 제거율을 제공하는 업계 최고 성능의 필터 기술과 비교할 때 최대 400%의 유량 증가를 보여줘 공정 생산성 향상 및 원가 절감에 기여할 것으로 기대된다”고 밝혔다.
■에드워드코리아
에드워드코리아(대표 이성민)는 이번 전시회에서 반도체, 디스플레이, LED 및 태양전지 제조장비용 차세대 드라이 진공펌프인 iXH/iXL/iGX/GXS 시리즈를 선보였다.
이 시리즈의 장비는 작고 가벼워 작업 현장에 적합하고 저소음·저전력·저진동 기술로 작업의 안정성 및 높은 효율성에 기여하고 있다. 또한 우수한 파우더 및 수소 처리 능력을 갖췄다.
또한 최첨단 일체형 터보 분자 펌프 ‘STP-iXA Series’는 기존 일체형 STP-iXA 시리즈 제품에서 제어부 및 AC/DC 전원부를 일체형으로 모듈화해 초소형화를 실현했으며 케이블을 제거해 컨트롤러 설치 공간을 최소화했고, 자가진단 및 공정기록 저장기능을 강화했다.
에드워드코리아는 진공기술을 기반으로 진공시스템, 배기가스처리장치 등 통합시스템을 공급하고 있으며 특히 국내 디스플레이 시장의 60% 이상을 차지할 정도로 고객사에게 신뢰받고 있다. 회사는 지난해 생산공장을 천안으로 이전, 차세대 드라이 진공펌프를 국산화하는데 주력하고 있으며 이에 따른 제2의 도약을 기대하고 있다.
홍보부족으로 한산한 채용설명회 아쉬움
고어, ‘HDPE 카트리지 필터 신제품’ 눈길
■어플라이드 머티어리얼즈
어플라이드 머티어리얼즈는 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등의 제조를 위한 혁신적인 장비, 서비스 및 소프트웨어를 소개했다.
어플라이드 밴티지 벌컨(Applied Vantage Vulcan)은 최첨단 나노 규모의 트랜지스터 제조 공정을 위한 급속 열처리 장비로, 웨이퍼의 온도변화를 역동적으로 제어해 수율 향상 및 고품질의 웨이퍼 제조가 가능하다.
어플라이드 센추라 테트라 EUV(Applied Centura Tetra EUV)는 최첨단 포토마스크 식각 기술을 적용해 새로운 소재 및 복잡한 레이어 구조상에서의 식각을 가능하게 하는 한편, 패턴의 정확도를 높여 극자외선 리소그래피 공정에서 발생할 수 있는 결함을 최소화시켰다.
어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)는 반도체 칩과 평판 디스플레이를 생산하는데 필요한 나노 제조기술을 개발하고 상용화하는데 주력하고 있으며, 현재는 풍부한 태양열을 청정 전기로 바꾸는 태양전지 패널 개발에 중점을 두고 있다.
■솔브레인
반도체, 디스플레이 등 IT화학소재 전문기업 솔브레인(회장 정지완)은 이번 전시회에서 반도체재료·디스플레이재료·전자재료·2차전지재료사업 등 회사가 영위하고 있는 사업군에 대해 소개했다.
솔브레인은 반도체 제조용 박막증착 화합물인 ALD/CVD 전구체를 국내 최초로 생산해 1992년부터 공급하고 있다. 또한 반도체소자의 미세화, 고기능화에 발맞춰 차세대 전극재료(High-k)물질, 배선재료(Al, Cu), 확산방지막재료 등에 대한 연구개발과 성과물을 배출하고 있다.
또한 반도체, 태양전지, LED에 쓰이는 초고순도 암모니아(NF₃) 생산시설을 에어프로덕츠로부터 인수해 생산하고 있다.
회사는 디스플레이재료사업을 통해 반도체, LCD, PCB 사업에 적용되는 알루미늄, 동, 인산, 과산화수소 계열의 부식액을 생산하고 있다. 또한 LCD패널의 핵심부품인 컬러필터 제조공정 중 사용되는 Organic Material과 태블릿 PC 등 휴대용 모바일 제품에 적용되는 Thin Glass, Optical Film 등 제품 생산과 개술개발에 매진하고 있다.
이밖에도 회사는 전기차용 2차전지 전해액사업, Nd자석, LED공정재료, 알칼리 이온수 등 사업을 강화하고 있다.
■아이원스
반도체 및 LED 초정밀 부품 기업 아이원스(대표 이문기)는 자사의 반도체·디스플레이·환경·LED사업부의 개발사업을 소개했다.
아이원스의 반도체사업부는 가공과 세정·코팅부문으로 나뉘는데 가공부문에서는 반도체, LED, 태양전지 등의 제조기술에 적용되는 핵심부품의 정밀가공 및 특수코팅, 설비의 개조개선 등 설비 및 부품의 국산화 사업을 추진하고 있다. 세정 & 코팅부문에서는 부품의 코팅을 통해 파티클 및 분위기 안정, 부품 수명연장 등 수율 및 생산성 향상과 함께 제조공정에서 발생하는 오염물 제거 및 재활용을 실현하고 있다.
디스플레이 사업부는 가공부문과 장비부문으로 나뉘어 있으며 LCD 공정, OLED에 적용되는 핵심 부품을 소재, 기능 특성별 분석을 통해 부품 정밀가공 및 핵심공정의 생산설비, 국소청정 시스템 사업을 추진하고 있다. LTPS, 태양전지 등의 장비 및 모바일 디스플레이용 윈도우 부착 설비 등을 연구 개발해 제품화하고 있다.
환경사업부에서는 반도체, LCD, 태양전지의 수율향상과 공정안정화에 있어 중요한 오염물질 제거용 케미컬 에어필터 및 시스템을 공급하고 있다. 또한 복사기, 프린터, 낸장고에 들어가는 흡착소재와 발전소, 소각장 등 유해가스 제거 시스템 및 촉매제도 생산하고 있다.
회사는 LED를 신성장동력사업으로 육성하기 위해 조명제품을 중심으로 개발중이며 항공분야 부품사업에도 진출하고 있다.
■토요탄소코리아
태양광 폴리실리콘-잉곳 가공공정에 사용되는 탄소계 흑연 소재부품 전문기업 토요탄소코리아(대표 콘도 나오타카)는 고기능 분야에 특화된 혁신적인 탄소제품을 선보였다.
회사는 반도체와 태양전지에 필요한 단결정·다결정 실리콘의 제조로(爐)에 적용되는 흑연제품을 소개했다. 이 흑연 제품은 비산화성 환경 속에서 약 2,500℃까지 견딜수 있어 잘 갈라지지 않으며, 고순도 처리에 의해 불순물을 경감시키고, 실리콘의 오염을 방지한다. 또한 열 전도율이 높고 열 부하의 확신이 빨라 특성이 고르고 품질이 안정적이며, 선열팽창률이 낮아 열응력을 억제할 수 있다.
이외에도 회사의 독점적 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정으로 개발된 등방성 흑연으로 코팅한 불침투성 실리콘 탄화물층인 ‘MOCVD Susceptors’ 등 탄소소재를 이용한 다양한 사업군의 제품과 항공우주, 원자력분야 등에 적용할 수 있는 고강도 탄소섬유로 만든 복합재료 등이 참관객들에게 소개됐다.
