대성산업가스(대표 김영대·김형태)가 중국에 NF₃(삼불화질소) 공장 설립을 통해 본격적인 중국 특수가스 시장 진출의 발판을 마련한다.

대성산업가스가 올해 6월 착공을 목표로 NF₃공장 설립을 추진하고 있는 것으로 알려졌다.

이번 NF₃공장 설립은 중국의 켐차이나(CNCC)의 자회사인 여명화공(黎明化工)과 합작회사를 설립해서 이뤄진다. 회사 관계자에 따르면 본격적인 공장 설립은 합작회사가 마무리된 후 이뤄질 것이라고 전했다.

공장은 연간 1,000톤의 생산능력을 갖출 것으로 전해졌고, 합작사 설립에 투입되는 자금은 총 490억원 상당이며, 이중 대성산업가스가 100억원을 투자할 것으로 알려졌다.

업계에 따르면 중국의 NF₃수요는 매년 20% 이상 증가하고 있는 것으로 알려지고 있으며, 공장이 완공될 경우 예상 매출액은 연 321억원에 달할 것으로 예상되고 있다.

NF₃는 반도체 장비인 챔버를 세척하는데 사용되며, 국내 수요처로는 삼성전자, 하이닉스, LG디스플레이 등이 있다.

이들 수요처들은 중국에서의 공장 설립을 추진하고 있고, 세계 주요 전자 업체들이 중국에 공장을 증설하고 있어 중국 시장에서의 NF₃시장 전망은 밝은 것으로 알려지고 있다.

대성산업가스는 그동안 NF₃를 전량 수입해 유통해 왔으나, 이번 공장 설립을 통해 생산 능력을 갖추게 돼 앞으로 가격경쟁력이 향상될 것으로 기대하고 있다.

한편 대성산업가스는 NF₃를 포함해 SF₆(육불화항), SiH₄(모노실란), He(헬륨), SiH₂Cl₂(디실란), NH₃(암모니아) 등의 특수가스를 유통하고 있으며, 2013년 3분기까지의 특수가스 매출은 635억7,300만원을 기록한 바 있다.