국내 최초로 나노종합기술원(원장 이조원)에 구축된 12인치 반도체 테스트베드가 본격 운영을 시작해 반도체 소부장 국산화에 기여할 전망이다.

과학기술정보통신부(장관 최기영)는 나노종합기술원(이하 종기원) 12인치 반도체 테스트베드가 3월17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 제공한다고 밝혔다.

그간 국내 반도체 소부장 기업들은 삼성전자, SK하이닉스 등 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어, 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 애로가 있었다.

여기에 2019년 7월 일본 수출규제를 계기로 과기정통부는 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 총 450억원을 투자해 청정실과 10대 핵심장비 구축, 장비안정화 작업을 신속히 추진했다.

이곳에 구축된 성능평가 서비스 장비는 △ArF Immersion Scanner(불화아르곤 미세축소 투영시스템) △Auto Track System(자동감광제 도포장치) △CD-SEM(선축측정 주사현미경) △PR Stripper(감광제 제거장비) △Oxidation Furnace(산화막 고온 증착 열처리로) △LPCVD Furnace(저압 화학기상증착 열처리로) △Multi-Chamber PECVD(플라즈마 화학기상 증착 장비) △Single Wafer Cleaner(비금속용 습식 세정 장비) △Thickness Measurement(박막두께 측정장치) △Dry Etcher(비금속 박막 극미세 패턴식각 장비) 등이 있다.

향후 국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 되어, 반도체분야 소부장 기술자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있게 됐다.

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.

과기부 김봉수 기초원천연구정책관은 “앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초·원천 연구지원과 병행해, 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대, 기능고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 밝혔다.