린데그룹의 계열사인 린데 가스가 지난 1일 대규모 박막 태양 모듈 생산그룹 Masdar PV에 불소(F2)를 공급계약을 체결했다.

이로써 Masdar PV는 독일 에르푸르트 근처의 Ichtershausen에 있는 박막 생산 시설에서, 이산화탄소보다 1만7,200배의 지구온난화 잠재력을 가지고 있는 온실가스 중의 하나인 NF3(삼불화질소)의 사용을 중단하게 됐다.

이를 대체하는 불소는 태양광 모듈 공정 챔버 클리닝에 있어 온난화 제로 솔루션으로 여겨지고 있다.

린데의 불소 생산 기술은 화학 증착 장치 챔버 클리닝에 이용되는 NF3를 포함하는 Per-Fluoro-Compound (PFC) 가스의 대안으로서 좀 더 생산적이고 에너지 효율적인 특징을 가진 것으로 알려졌다.

Ian Travis 린데의 불소사업 매니저는 “불소 클리닝은 박막 태양 전지 생산자들에게 윈-윈 할 수 있는 선택”이라며 “불소는 늘어나는 배기가스의 위험을 제거함은 물론 비 생산적인 클리닝 시간을 줄이고 재료처리량을 향상시킨다”고 말했다. 또한 그는 “이는 환경책임에 대한 관심과 기업의 이익을 함께 달성하는 흔치 않은 솔루션” 이라며 “효율성을 제공하는 우리의 가스 기술을 통해 Masdar 의 기술이 즉각적으로 향상됐다는 점에 대해 기쁘게 생각한다” 라고 전했다.

Matthias Peschke Masdar의 운영엔지니어링 이사는 “우리의 목표는 최적의 비용으로 혁신적인 박막 기술을 개발하는 것”이라며 “지속 가능한 소재를 이용해 생산 공정 과정에서의 배기가스를 현저히 줄이는 것은 치열한 시장에서 Masdar PV가 가지고 있는 중요한 차별성” 이라며 “공정과정에서 NF3를 제거하기 위해 현장에서 효율적이고 안전한 불소기술을 제공하는 린데의 노력은 훌륭하다”라고 말했다.

한편 린데는 전기 산업부문에 30개가 넘는 Generation-F® 불소 제네레이터를 설치해 박막PV, TFT-LCD 및 반도체 생산의 드라이 챔버 클리닝에 있어 CO2 배출을 최소화하는 노력을 시도해 왔다.

또한 린데는 박막 실리콘 태양 전지에 가스 및 화학 제품을 공급하는데 있어 선두적 위치를 확보해 왔다. 특히 린데는 결정질 실리콘에 있어 40%의 시장 점유율을 차지하고 있으며, 독일, 스페인, 중국, 대만, 인도와 같은 주요 시장에서도 앞선 위치에 있다.