▲ KRISS 가스분석표준그룹 연구진이 고순도 가스 순도분석 연구를 진행하고 있다.

한국표준과학연구원이 반도체용 특수가스 등 소재·부품·장비 국산화를 위해 기업과의 기술 협력 및 품질검증 등 지원에 적극 나서고 있다.

한국표준과학연구원(원장 박현민, KRISS)은 소재·부품·장비 연구성과 온라인 기자간담회를 개최하고 2년간 소부장 분야에 대한 KRISS의 성과와 향후 계획을 13일 발표했다.

측정표준 기술로 기업체 개발 기술에 기여하는 KRISS는 △원천기술 개발 △불화수소 포함한 반도체용 가스소재 국산화 △연구장비 인력양성까지 소부장 전반을 아우르고 있다.

KRISS의 가스분석표준그룹은 불화수소를 포함한 반도체용 특수가스의 소재 국산화에 기여했다. 생산 능력은 갖췄지만 품질을 검증하는데 어려움이 있었던 기업에게 KRISS가 애로사항을 해결해 줬다.

일본 수출 규제의 품목이었던 고순도 불화수소는 반도체 공정에 핵심소재다. 10 나노미터 이하의 정밀회로 제작일수록 정확도와 완성도를 높이기 위해 99.9999% 이상의 초고순도가 필수다.

이를 위해 가스 측정 장비와 인력, 기술력이 필요한데 KRISS가 모든 가스분석에 대한 종합적인 연구 인프라를 갖추고 있다. KRISS는 세계 최상위 수준의 가스분석 능력을 보유하고 있으며, 불순물 분석에 필요한 가스인증표준물질인 표준가스를 자체 개발하고 생산하는 능력을 보유하고 있다.

이뿐만 아니라 반도체 공정에서 사용하는 가스 분석 장비의 성능평가, 프리커서의 물성 분석, 진공펌프 배관의 막힘 등과 같은 다양한 품질평가와 기술 분석을 제공해 공정상 애로사항 자문 등을 지원하고 있다.

현재 기술협력을 진행하고 있는 SK머티리얼즈 품질분석 담당 박치복 팀장은 “NF3(삼불화질소), WF6(육불화텅스텐), 모노실란(SiH4) 등 반도체 특수가스 선두 주자인 SK머티리얼즈는 앞으로도 협업을 통해 반도체용 가스 소재의 품질을 향상시켜 국각 소재 산업의 경쟁력을 한 단계 끌어올리겠다”라고 밝혔다.

이상일 화학바이오표준본부장은 “사염화규소와 모노실란 등 반도체용 가스의 품질평가를 순차적으로 진행하고, 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최함으로써 가스 품질향상에 기여할 것”이라고 말했다.

이밖에도 KRISS는 국산연구장비의 활용도 제고 및 성능고도화를 위해 산연구장비활용랩과 오픈 이노베이션랩을 운영하고, 전문인력 육성을 위해 연구장비 SW개발 교육과 KRISS-연세대학교 학연교수(KRISS-YU 융합반도체 협동과정) 제도를 신설했다.

국산연구장비활용랩은 무상으로 국산연구장비를 활용할 수 있도록 하고, 사용법에 대한 교육을 실시한다. 또한 KRISS의 측정표준기술 및 첨단장비개발기술을 활용해 국산 연구장비의 성능평가 및 개선 프로그램도 연계할 계획이다.

새롭게 개소하는 오픈 이노베이션랩은 KRISS 자체 개발장비를 시연할 수 있도록 지원해 융합연구 촉진과 실험실 개발장비의 상용화에 기여할 전망이다.

지난 3월부터 KRISS는 이공계 졸업자 10명을 선발해 연구장비 SW개발 교육을 실시하고 있으며, 올 하반기부터 재직자를 대상으로 SW개발 역량강화를 위한 교육을 진행할 예정이다.

더불어 9월부터 ‘KRISS-연세대학교 학연교수(KRISS-YU 융합반도체 협동과정)’ 제도를 운영한다. KRISS 연구원과 연세대학교 교수가 한 팀을 이뤄 학생 지도 및 융합연구를 수행하며, 반도체 원천소재 및 측정표준·과학 분야 연구를 진행할 계획이다.

박현민 원장은 “세계 최고 수준의 측정표준·측정과학기술 역량과 인프라로 국산 장비 성능검증, 측정연구장비 개발, 맞춤형 인재양성까지 아우르는 전주기 지원을 통해 앞으로도 대한민국 소부장 경쟁력 강화에 도움이 되겠다”라고 말했다.

▲ KRISS 오상협 책임연구원(좌), SK머티리얼즈 박치복 팀장(우)이 기술협력을 진행하고 있다.