반도체 제조 공정에서 발생해 이산화탄소보다 수천에서 수만배로 지구온난화에 영향을 미치는 과불화탄소(PFCs)를 처리할 수 있는 기술이 국내 기업에 의해 개발됐다.

한국환경산업기술원(원장 김상일)은 반도체 공정에서 배출되는 대표적 기후변화영향 물질인 과불화탄소가스를 고효율로 연속 처리 할 수 있으며, 설치면적과 운영유지 비용이 낮은 고성능 하이브리드
플라즈마 스크러버를 개발했다고 최근 밝혔다.

(주)크린시스템코리아 기술연구소는 환경부와 한국환경산업기술원의 차세대핵심기술개발사업을 지원받아 실제 반도체 제조공정과 동일한 조건에서 장기간의 성능 테스트 및 효율 테스트를 통해 PFCs 가스 중 가장 난분해성인 사불화탄소(CF₄) 및 육불화황(SF₆)의 처리기술을 개발 했다.

기존 반도체 공정에서 과불화탄소 분해를 위해 사용되던 배가스 스크러버는 처리용량이 100ℓ/min 정도로 매우 낮고 처리효율도 90%정도였다. 반면, 이번 연구개발을 통해 개발된 하이브리드 플라즈마 스크러버는 플라즈마와 탄화수소연료 연소의 조합을 통한 상승효과를 이용, 배가스 유량이 1,000ℓ/min 정도의 대용량에서 과불화탄소를 95%이상 고효율로 분해, 처리할 수 있는 큰 장점을 가지고 있다.

이번에 개발된 하이브리드 플라즈마 스크러버는 매우 콤팩트하게 디자인돼 기존 스크러버에 비해 작은 공간에서도 설치 가능하고, 설치비용은 50% 이상, 운영비용은 20% 이상 절감 할 수 있다.

연구책임자 김승곤 소장은 “이번에 개발한 하이브리드 플라즈마 스크러버는 지구온난화 물질인 과불화탄소 가스를 대용량으로 완벽하게 분해시킬 수 있는 세계 최초의 기술이고, 각종 국제환경 규제에 능동적으로 대처가 가능해 정부의 녹색성장 정책에 크게 이바지할 것으로 기대된다”며 “또한 해외로의 기술 수출이 가능할 것으로 예상하고 있다”고 밝혔다.