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린데코리아, F₂ LCD 적용 박차
독일의 세계적인 가스 및 엔지니어링 전문기업 린데가 불소(F₂)를 디스플레이산업에 적용·확대할 수 있는 길을 열었다.
린데의 글로벌 전자 사업부인 린데 일렉트로닉스(Linde Electronics)는 최근 한국디스플레이산업협회(KDIA) 주관으로 실시된 장비, 재료 성능 평가에서 린데 온사이트 F₂가 현재 TFT-LCD 패널의 건식식각(Dry etch) 공정에 이용되고 있는 SF₆(육불화황)를 대체할 수 있는 수단으로 인증받았다고 밝혔다.
KDIA 회원사 측에서 평가한 결과에 따르면, Gen 4.5 크기의 패널에서 실리콘산화물 및 나이트라이드 필름에 대해 린데의 불소를 사용했을 경우 동일한 테이퍼 각을 유지하면서 식각률 및 식각 균일도가 크게 개선됐다.
KDIA R&D 기획팀 관계자는 “한국디스플레이산업협회는 한국에서 디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하기 위한 여러 가지 프로그램을 실행하며 특히 SF₆ 사용 감축을 강조하고 있다”며, “이번 평가 결과는 F₂가 SF₆를 대체해 더 나은 성능을 발휘할 수 있다는 사실을 보여준 첫 번째 테스트”라고 전했다.
린데는 이번 인증을 계기로 향후 LCD 제조업체와의 양산성 평가를 통해 양산 적용에 대해 검증할 예정이다.
린데의 불소 사업부 대표인 칼 잭슨(Carl Jackson)은 “디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하고 제조업체들의 공정성과 개선을 돕기 위한 KDIA 프로그램을 지원하게 된 점을 매우 기쁘게 생각한다”고 말했다.
한편 SF₆는 CO₂보다 지구온난화지수(GWP)가 2만3,900배 큰 온실가스로 전기를 통과시키지 않는 특성이 있기 때문에 반도체, 개폐기, 가스 절연 송전선 생산에 다량 사용된다. 이에 따라 전기전자산업이 발달한 우리나라는 다른 국가에 비해 육불화황 배출이 많다는 문제점을 가지고 있었다.
이에 비해 F₂는 GWP 가 ‘0’ 인 친환경 가스이자 생산성과 에너지 효율성이 높은 물질로 알려져있다. 이에 린데는 국내 시장을 타깃으로 온사이트 F₂개발을 꾸준히 지원해 왔으며 최근 늘어나는 주문량에 대처하기 위해 충남 아산 린데코리아 인주공장에 F₂생산 시설을 구축한 바 있다.
신근순 기자
2012-10-04
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후성 울산 NF₃충전장 폭발
불소화합물 전문기업인 후성의 울산 NF₃(삼불화질소) 충전장이 폭발해 한명이 크게 다치는 사고가 발생했다.
소방당국에 따르면 지난 3일 오후 3시16분 경 울산 남구 매암동에 위치한 후성 NF₃(삼불화질소) 충전장에서 순간 폭발로 인한 화재로 근로자 이모씨가 얼굴 등에 3도 화상을 입고 충전소 건물과 내외부가 파손되고 근처 임야에도 불이 옮겨 붙는 사고가 발생했다.
이날 사고는 충전소에서 가스 이송 차량에 세정가스를 충전하는 과정에서 차량의 가스 주입구와 세정가스 밸브 사이에 틈이 생겨 마찰열이 생기면서 가스 밸브가 폭발, 화재가 난 것으로 소방당국은 추정하고 있다.
회사 측은 이날 사고로 NF₃가 30∼40㎏ 정도 유출됐지만 이 물질은 인체에 해가 없다고 밝혔다. 그러나 물질안전보건자료(MSDS)에 따르면 NF₃는 눈이나 피부에 접촉시 자극과 화상을 일으킬 수 있으며 흡입시 구역, 구토, 두통, 호흡곤란, 천식, 피부청색증, 경련 등을 일으킬 수 있는 독성가스라고 명시돼 있다.
한편 NF₃는 반도체, LCD, 태양전지 제조과정에서 CVD 챔버내 잔류물을 세정하는데 쓰이는 가스다. 후성은 연 600톤을 생산하고 있으며 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이 등에 납품하고 있다.
신근순 기자
2012-10-04
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휴브글로벌 구미공장 불산 누출, 5명 사망
구미국가산업 4단지에 위치한 휴브글로벌 구미공장에서 발생한 불화수소산(Hydrofluoric Acid:불산) 누출사고로 5명이 숨지고 8명이 중경상을 입는 사고가 지난 27일 발생했다. 특히 불화수소산은 강한 수소결합력을 가진 유독가스로서 적은양도 신체에 닿으면 빠르게 침투하고 심하면 신체를 절단해야하는 상황에 이를 수 있어 심각한 2차 피해가 우려되고 있다.
경찰에 따르면 이번 사고는 작업자들이 20톤짜리 탱크로리에 든 불화수소산을 공장 저장탱크로 옮기기 위해 호스를 연결하던 중 발생했다.
사고가 나자 경찰과 소방서는 사고현장 반경 300~400m 인근주민을 대피 조치하고 반경 1.4km 이내 50여명 주민대피를 유도했다. 또한 오후 8시경에는 환경부 권고로 반경 3km 이내 1,177명의 주민대피를 유도했다.
불화수소산은 반도체 위에 세정, 주석, 납, 땜납, 크롬 등의 도금욕, 유리의 부식, 주물의 모래 제거, 스테인리스의 표면처리, 도금의 전처리 등에 쓰인다.
무색의 독성, 부식성, 불연성의 성질을 가진 액화가스로 공기 중 수분과 접촉하면 매우 자극적인 산 냄새를 가진 흰색 흄을 발생한다. 유독성으로 표면 장력이 대단히 작고 침투력이 강하기 때문에 취급에 많은 주의를 요구하는 물질이다.
흄을 흡입하게 되면 폐 염증 또는 충혈을 유발해 장기에 손상을 가져오게 되며 직접 피부와 접촉하면 매우 치명적인 화상을 유발할 수 있다.
특히 불화수소산은 자연 소멸되지 않기 때문에 2차 피해가 우려되고 있다. 가스 누출 후엔 대기, 토양, 물 등에 석회, 나트륨 중탄산염 등 알칼리 수용액을 뿌려 중화시키는게 최선이다.
신근순 기자
2012-09-28
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(주)한비, 초저온용기 재검사업 개시
신근순 기자
2012-09-27
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구영본 대보공업, 남경산업 사장
신근순 기자
2012-09-27
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헬륨대란, 하부업체 ‘빈익빈’
국내 헬륨 공급부족이 지속되고 있는 가운데 ‘가뭄에 단비’처럼 헬륨이 수입됐지만 충전소 및 판매점 등 하부업체의 헬륨대란은 지속될 전망이다.
헬륨 수입업계 관계자는 오는 10월 초·중순 액메이커의 해외 헬륨 공급 컨테이너가 한국으로 입항한다고 밝혔다.
이에 헬륨 수급에 목말라 있는 국내 수요 업체들은 한 숨을 돌릴 것으로 보인다. 현재 헬륨수급에 목말라 있는 기업들은 담당직원을 수입사로 수시로 보내 입고물량을 파악하는 등 헬륨 확보에 사력을 다해왔기 때문에 이번 수입이 반갑기만 하다.
이처럼 헬륨의 국내 입고 소식에 헬륨 수요처들은 헬륨 수급이 원활히 이뤄질 것이라고 기대를 하고 있으나 과연 이 물량이 하부업체까지 분배될 분량이 있는지는 의문시 된다.
현재 헬륨 수입공급사들은 LCD, 반도체 등 주요 수요처에 최우선 공급하는데 총력을 기울이고 있다. 국내 헬륨수요의 80%를 상회하는 삼성·LG·하이닉스 등 전자·반도체·LCD 기업으로 공급되고 연구측정용으로 국과수·군·각종 연구소 등 국가기관과 8~10%의 수요를 차지하는 의료용으로 우선적으로 공급돼야 하기 때문이다.
이에 하부 시장은 헬륨이 수입되더라도 구입하지 못할까 전전 긍긍하고 있다. 수입되는 물량을 정확히 알 수 없고, 분배과정에서 소외될 가능성이 높다고 보고 있다.
이에 헬륨 유통업계 관계자는 “헬륨을 구할 수만 있다면 무조건 구매하겠다”며 “이번 헬륨의 국내 입고에 한줄기 희망을 걸고 있지만, 물량을 받지 못할까 걱정”이라고 말했다. 또한 “헬륨 공급파동이 하부업체에 더 심각한 영향을 주고 있다”고 밝혔다.
배종인 기자
2012-09-27
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KRISS 김진석 선임본부장, 가스분석 위원장 선임 :
기자
2012-09-27
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산업가스 가격 인상 도미노
배종인 기자
2012-09-27
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이엠코리아, 수소 원하는데서 만든다
배종인 기자
2012-09-21
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대성산업가스(주)
2012년 9월1일자 승진
■부장급
▷김민영 Bulk영업본부
▷윤석택 일반가스생산관리본부(청주공장)
▷이성남 엔지니어링본부
▷이상인 경영전략본부
■차장급
▷황유석 Tonnage영업본부
▷신정범 일반가스생산관리본부(양산공장)
▷김영주 일반가스생산관리본부(여천공장)
▷김영해 경영전략본부
▷고재웅 경영지원본부
편집국 기자
2012-09-20
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대덕가스, 경기북부로 영업력 확장
배종인 기자
2012-09-20
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에쎈테크, 2Q 매출 198억…전기 比 2.8% ↑
이일주 기자
2012-09-12
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산업가스 시장안정화 ‘한 목소리’
배종인 기자
2012-09-12
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동광화학, CO₂ 新시장개척 ‘앞장’
||||동광화학(대표 최두준)이 화력발전소에서 원료가스를 확보해 액체탄산가스(LCO₂)를 생산, 그린하우스에 적용하며 새로운 공급원과 수요처라는 ‘두 마리 토끼’를 잡고 있다.
남부발전은 지난달 24일 경남 하동 남부발전 하동화력본부에서 연간 약 7만톤의 CO₂를 포집할 수 있는 10MW 연소후 건식 CO₂포집플랜트를 착공했다. 연소후 건식 CO₂ 포집기술로서는 세계 최초, 최대 규모다.
동광화학은 포집플랜트가 준공되는 내년 8월경 하루 200톤 규모의 액체탄산 제조설비를 갖추고 이를 농작물 재배농가에 저렴하고 안정적으로 공급하는 사업에 나설 계획이다.
현재 동광화학은 지난해 7월 한국남부발전과 체결한 ‘CO₂ 빌리지 사업’에 따라 CO₂를 딸기 재배 하우스에 시험 적용하고 있다. 이 사업은 발전소에서 배출되는 CO₂를 농작물 재배사업장 등에 고부가가치 원료로 공급하는 것으로 CO₂의 효율적 저감과 농가 소득 증대를 위해 추진됐다.
동광화학의 CO₂는 담양의 CO₂ 강화재배 기술업체인 에코프리미엄프로듀스의 825㎡(250평)규모의 딸기 하우스 1개동에 투입돼 일반 하우스보다 4~5배 이상의 수확량을 올리고 있는 것으로 전해지고 있다.
CO₂를 이용한 농작물 강화재배 사업은 고품질의 농산물을 생산할 수 있는 매우 과학적인 방법으로 외국에서는 많이 보급되고 있었으나 국내에서는 CO₂ 공급의 어려움과 시설비용 부담으로 보급의 어려움이 많았다.
동광화학은 남부발전과 CO₂를 활용한 다양한 사업을 진행해 토마토, 참외 등 7대 농작물로 적용을 확대한다는 계획이다. 남부발전은 향후 300 MW급 플랜트를 삼척그린파워에 적용하는 등 CO₂포집설비도 늘어날 전망이다.
이와 같은 발전사와의 협력모델은 원료가스 다변화와 물량 증대로 직결된다. 공급과잉 속에 조선산업 불황으로 그린하우스 시장 등 신수요처를 찾고 있는 탄산업계에 어떠한 영향을 미칠 것인지 귀추가 주목되고 있다.
신근순 기자
2012-09-10
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서울경인조합, 이사회 개최
서울경인고압가스공업협동조합(이사장 심승일)은 지난 5일 인천 서구에 있는 조합사무실에서 이사회를 가졌다.
이날 이사회에서는 한국고압가스일반제조·충전협회 추진, 헬륨 부족현상 영향 등을 집중 논의 했다.
먼저 조합은 한국고압가스일반제조·충전협회의 진행상황이 울산을 비롯한 전북, 전남, 광주, 강원 등 지역에서도 협회 회원으로 가입키로 하는 등 순조롭게 추진되고 있다고 전달했다.
헬륨은 수급의 어려움이 지속되고 있다면서 몇 병을 구하기 위해선 경남까지 내려가야 하는 번거로움도 감수하고 있는 현실이다.
이처럼 헬륨부족현상이 장기간 지속되자 헬륨을 대체할 수 있는 장비의 개발이 시급하다는 의견도 나왔다.
고봉길 기자
2012-09-10
