산업가스

린데, 볼텍스 디실란 플랜트 투자 린데그룹이 낸드플래시 메모리 칩 생산량 증대를 위해 볼텍스사의 디실란 플랜트에 투자한다. 린데그룹의 글로벌 전자 사업부가 4일 볼텍스(Voltaix)사의 미국 펜실베니아 주에 위치한 초 고순도 디실란 플랜트에 투자한다고 밝혔다. 볼텍스사는 반도체 및 태양광 산업에 필요한 재료를 생산하는 회사다. 이에 린데는 차세대 낸드플래시 메모리 칩 생산에 필요한 대량의 디실란(Si₂H₆) 생산을 위해 볼텍스사와 파트너쉽을 체결했다. 린데가 투자한 이 플랜트는 연간 40톤의 규모의 디실란을 생산할 수 있으며 이는 주요 메모리 제조사들로 하여금 빠르게 성장하는 수요에 맞춰 낸드 플래시와 D램 메모리 칩 생산량 증가를 가능하게 할 것으로 보고 있다. 홀거 키르크너 린데그룹의 전자사업 특수가스사업부 총괄은 “린데와 볼텍스사의 이번 파트너십은 차세대 메모리 디바이스 제조에 있어서 혁신적인 지원을 가능하게 할 것이다”며 “포틀랜드에 위치한 대규모의 이 플랜트 덕분에 우리는 전자 산업에 있어 선도적인 가스 전문 공급 업체로서의 위치를 강화할 것”이라고 말했다. 또한 “이번 계약을 통해 초 고순도 디실란에 대한 전 세계 낸드플래시 메모리 칩 제조업체들의 현재와 미래의 수요를 충족시킬 수 있는 이상적인 위치를 점하게 되었다”고 말했다. 피터 스미스 볼텍스 CEO는 “우리는 주요 파트너인 린데 전자사업부의 도움을 통해 디실란 대량 생산에 있어 선도적인 위치를 점하게 될 것이다”고 말했다. 한편 디실란은 전통적으로 사용되던 모노실란 보다 상당한 프로세스 개선을 제공해 5nm 미만 두께의 고품질 실리콘 필름 증착에 있어 저온 공정이 가능한 것으로 알려지고 있다. 이에 디실란은 기존의 퍼니스(batch furnace) 장비와 싱글 웨이퍼 장비에서의 사용을 가능하게 하고, 더 높은 증착률로 인해 모노실란 사용 대비 생산량을 늘릴것으로 기대되고 있다. 배종인 기자 2013-02-04
린데, 헬륨난 해결 앞장선다 김태구 기자 2013-02-04
국내 연구진, 세계최고 CO₂ 포집 물질 개발 이일주 기자 2013-01-30
프렉스에어코리아 창립 38주년 신근순 기자 2013-01-29
에어프로덕츠, 수소연료전지 기술 선 김태구 기자 2013-01-28
경북산업가스 충전소 신규 사업개시 배종인 기자 2013-01-28
가스켐테크놀로지 ■ 임원승진 ▷ 이상락 상무 ▷ 이영수 이사 편집국 기자 2013-01-27
이덕우 덕양 회장, 2억 기부 쾌척 신근순 기자 2013-01-25
산업가스 中企 권익·국민안전 책임진다 신근순 기자 2013-01-18
[인사]유진화학 2013년1월1일자 승진 인사 ■이사대우 ▷안정용 ■부장 ▷고명준 ■과장 ▷박상준 ■대리 ▷권병상 ▷문홍준 ▷정윤권 편집국 기자 2013-01-17
전기료 또 인상, 산업가스 업계 시름 배종인 기자 2013-01-16
심승일 이사장, 조합 감사패 수상 배종인 기자 2013-01-16
불산 누출사고, 청주서 또 발생 지난해 9월 구미에서 발생한 플루오린화수소산(Hydrofluoric acid, 불산) 누출사고로 많은 인명·재산피해를 겪은지 얼마되지 않아 청주지역에서 같은 사고가 발생했다. 이번 사고도 작업자의 실수로 발생한 것이어서 안전불감증이 심각하다는 지적이 나오고 있다. 지난 15일 저녁 9시쯤 충북 청주시 송정동의 한 LCD가공공장에서 불산 희석용액 2,500리터가 유출되는 사고가 발생해 작업자 한명이 얼굴에 화상을 입는 피해를 입었다. 이번 사고는 작업자 한명이 부주의하게 불산 수송 플라스틱 배관을 깨뜨면서 발생한 것으로 조사됐다. 다행히 누출된 불산이 농도 8%로 낮은 수준이어서 구미사고 같은 인명피해는 일어나지 않았다. 또한 회사에는 안전처리시스템이 잘 갖춰져있어 누출된 불산은 자동으로 공장 폐수시설로 옮겨졌고 기화한 불산도 흡착시설에 걸러지는 등 위기대응 매뉴얼에 따라 신속히 처리됐다. 그러나 해당업체는 지난 8월에도 불산누출 의혹을 받은 바 있어 인근 주민들의 불안감은 크다. 또한 구미와 청주 불산누출사고는 모두 작업자의 실수로 발생한 것이니 만큼 이를 보완할 수 있는 장치와 시스템 구축이 시급하다는 지적이다. 한편 불산은 유리 가공, 테프론(PTFE:불소수지) 생산, 실리콘 웨이퍼 가공, 치약, 우라늄화합물 합성 등 다양한 산업에 두루 쓰이고 있다. 김태구 기자 2013-01-16
불량용기 담긴 냉매 유통, 안전 ‘빨간불’ 신근순 기자 2013-01-15
김형태 대표, “자존감 갖고 성실히 살자” 배종인 기자 2013-01-11

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