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  • 기사등록 2021-11-18 18:00:03
  • 수정 2021-12-01 09:59:55
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▲ kriss오상협팀장이 반도체용 가스 소재 국산화를 위한 측정기술 개발 및 품질평가 체계 구축에 대해 설명하고 있다.


우리 반도체 공급망 안정화를 위해선 공정에 사용되는 반도체용 가스의 측정기술 개발 및 품질평가 체계를 구축하는 것이 핵심인 것으로 나타났다.


신소재경제신문 주최, SK머티리얼즈 후원으로 18일 코엑스 D홀 전시장 내 세미나장에서 ‘제9회 국제첨단소재 및 응용기술전의 기술워크숍-K 반도체-배터리전략 실현 첨단소재 특수가스 세미나’가 개최됐다.


이번 행사는 △한국표준과학연구원 산업용가스분석표준팀 오상협 팀장 ‘반도체용 가스 소재 국산화를 위한 측정기술 개발 및 품질평가 체계 구축’ △NH투자증권 도현우 연구위원 ‘2022년 반도체 시장전망’ △코스모신소재(주) 정혁 연구소장 ‘배터리용 하이니켈계 차세대 양극재 개발 동향과 산업가스(O₂)의 역할’ △㈜에이원 문흥만 대표 ‘반도체용 특수가스 Recycling 기술의 가능성과 한계’ △㈜대덕가스 정병호 전무 ‘글로벌 헬륨시장 동향’ 등이 발표됐다.


지난 2019년 일본 수출규제로 인해 반도체 공정 필수 식각가스인 불화수소의 국산화가 추진됐다. 이를 위해선 독성이 있고 부식성이 강하며 인화성을 가진 반도체용 가스의 순도를 분석하는 일이 중요하다.


한국표준과학연구원(KRISS)의 산업용가스분석표준팀 오상협 팀장은 “반도체용 고순도 가스를 국산화하기 위해선 분석기술 개발, 품질검증 기반시설 구축 등으로 품질평가 체계를 개발하는 것이 반드시 필요하다”고 밝혔다.


오 팀장은 이날 △연구추진체계 △연구내용(연구목표, 세부과제 목표), KR품질시스템 등에 대해 소개했다. 세부내용으로는 △순도분석 △기체상 분석기술 개발 △액체상 분석기술 개발 △표준물질개발 △기반시설 구축 △품질평가 체계 개발 등을 발표했다.


KRISS는 불순물 분석용 표준 절차서, 순도분석 시험 검사 절차서, 불순물 분석용 표준물질 등의 결과물을 얻어 반도체용 가스 소재 순도분석용 기반시설 구축, 고순도 가스소재 15종의 불순물 측정 절차서 및 표준물질 6종이상 개발, 품질평가 체계구축, 시험검사 서비스 기반 확보, 반도체 가스소재의 측정 표준 기반 확립의 성과를 거뒀다.


이러한 성과는 산업현장의 애로기술 해결, 측정기술 및 표준물질 보급을 통한 측정결과 신뢰성 향상, 가스의 제조기술 개발 활용, 신소재 개발 및 특성 평가 등에 활용되고 있다.


오상협 팀장은 “기술자립화를 위해 실험절차에 대해서 산업계와 서로 의견 교환을 하려고 한다”며 “불순물 정제를 위한 표준가스가 필요해 약 15종에 대해 분석, 품질보증 서비스를 목표로 기반구축, 분석기술개발에 최선을 다하고 있다”고 전했다.


아울러 “KRISS는 가스분석에 필요한 대부분의 장비를 구축하고 있으며, 시험성적서는 미국 등 국제적으로도 통용되고 있다며 안전을 최우선으로 분석 및 연구개발을 진행하고 있다”고 밝혔다.

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