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나노종기원, 반도체 소부장 국산화 및 상용화 성공 기여 - 코리아스펙트럴프로덕츠㈜·㈜아이에스티이 등, 성능개선 및 매출·고용창… - 수요연계 양산·신소재 신공정·나노메디컬 디바이스 개발 진행
  • 기사등록 2022-01-26 17:05:14
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▲ 나노종합기술원 이조원 원장이 `반도체 소부장 성과보고회`에서 환영사를 하고 있다.


반도체 소부장의 기술자립화를 지원해온 반도체 테스트베드 사업이 반도체 소부장의 국산화와 매출 및 고용창출로 경쟁력 강화에 기여했다.


과학기술정보통신부(장관 임혜숙)와 나노종합기술원(원장 이조원)은 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영 1주년을 맞아 반도체 소부장 국산화 지원성과 등을 공유하는 성과보고회를 26일 엘타워에서 개최했다.


행사에는 과기정통부, 나노종기원, 코리아스펙트럴프로덕츠, 아이에스티이 등 공동연구기업 및 기관 관계자 등이 참석했다.


나노종기원의 반도체 테스트베드는 2019년도 일본 수출규제에 대응해 국내 소부장 기술자립화를 위해 과기정통부의 지원으로 지난해 3월부터 서비스를 제공하고 있으며, 기업들과 나노종기원이 함께 반도체 소부장 국산화를 추진하고 있다.


이날 행사에서는 테스트베드 구축 및 운영실적 보고와 함께 지난 1년 동안의 소부장 기술자립화 우수성과를 발표했다.


지난해 말 기준 12인치 반도체 테스트베드 이용실적은 총 1,226여건이며, 2021년부터 2025년까지 340억원이 투입되는 테스트베드 소부장 공동기술 개발사업으로 지난해 △반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템 상용화 △반도체 PECVD 장비 국산화(아이에스티이)성과 등을 달성했다.


코리아스펙트럴프로덕츠의 반도체 양산공정 실시간 모니터링 시스템은 나노종기원 테스트베드 플라즈마 장비(공정)을 활용해, 개발 제품의 성능검증 및 신뢰성 확보를 통해 상용화에 성공했다.


개발제품의 성능평가 결과를 바탕으로 글로벌 반도체장비(A사) 기업에서 개발제품에 대한 양산장비 적용 평가 중이며, 지난 해 신규 매출 1억원, 고용창출 등을 달성했다. 올해 본격적인 매출이 발생할 것으로 예상된다.


㈜아이에스티이는 테드스베드 공정을 통해 반도체 증착장비 국산화에 성공했다. 반도체 PECVD 장비(SiCN 박막 증착)는 수요 대기업이 요구하는 웨이퍼 데모 성능평가 항목 19개를 모두 통과했으며, 기존 성능대비 SiCN 박막균일도, 접착력 등 개선, 박막 증착속도 양산성능 개선 성과를 창출했다.


올해도 지난해와 마찬가지로 반도체 소부장 공동기술 개발사업(SBID)에 50억이 투입돼 수요연계 양산 기술개발 10개, 신소재 신공정 선행개발 4개를 진행하고 있다.


이밖에도 △ArF Immersion용 반도체 소재(감광제, 반사방지막 등) △12인치 DRIE 식각장비 등 12개의 반도체 소부장 연구성과가 함께 전시돼 관계자들이 관람하고 성과를 공유할 수 있도록 했다.


또한 나노종기원은 코로나19 등 국민건강 대응 및 맞춤형 디지털 헬스케어를 위한 ‘반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업’(2021~2025)을 통해 개발한 플랫폼기술과 상용화 연구성과도 발표했다.


반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발사업은 원천기술기반 신속한 제품화, 양산 지원, 상용화 연계 기술 가능 플랫폼 구축과 4년 이내 제품 상용화를 지원했다.


특히 나노종기원 기술을 이전받아 세계 최초로 진단키트에 반도체 공정기술을 적용한 마라나노텍코리아의 감염병 진단키트 상용화기술 개발은 기존 PCR 대비 10배 저렴하면서 90% 이상의 정확도를 갖는 신속진단키트에 도전한다.


나노메디컬 분야에서는 △기능 고집적 모듈형 바이오칩 플랫폼 △나노메디컬 센서 플랫폼 등 3개 플랫폼 기술개발 성과와 △3세대 통합형 디지털 PCR 제품 개발 등 2개 제품개발 성과가 전시됐다.


우수 이용고객과 협력사에 대한 시상도 진행됐다. 나노종합기술원원장상 우수연구상은 △㈜마라나노텍코리아 △㈜코리아스펙트럴프로덕츠 등 4개 팀에, 우수협력사는 △(주)러셀 △EVG코리아에 수여했다.


과기정통부 고서곤 연구개발정책실장은 “나노종기원 반도체 테스트베드 서비스는 짧은 기간에도 불구하고 충분한 수요기업 확보와 내실있는 성과들을 창출했다. 앞으로도 혁신적인 상용화 성과창출에 실질적인 역할을 해 달라”고 당부했다.


이조원 나노종기원 원장은 “국가 핵심 나노인프라 및 반도체 테스트베드라는 나노종기원 역할과 책임을 다해, 국가 나노기술 혁신과 반도체 소부장 국산화를 이끌어 나가는 핵심기관으로 거듭나겠다”라고 말했다.


▲ `반도체 소부장 성과보고회`에 전시된 테스트베드 소재부품장비 기술개발사업 성과


▲ `반도체 소부장 성과보고회` 전경

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