▲ 한양이엔지 시스템BU 국내영업부 백인학 상무(좌)와 김가인 대리(우)가 CCSS에 대해 모형물 앞에서 설명하고 있다.

반도체 및 디스플레이 등 다양한 산업 분야에서 종합엔지니어링 솔루션을 제공하는 한양이엔지(대표 김형육, 김덕림)가 화학물질의 전 과정을 통합관리하는 장비 및 시스템을 전시해 주목을 받았다.

한양이엔지는 2월 9일부터 11일까지 삼성 코엑스 전시장에서 열린 ‘세미콘 코리아 2022’에서 화학물질 중앙공급장치(CCSS, Central Chemical Supply System)를 선보였다.

한양이엔지가 국내 최초로 국산화에 성공한 화학물질 중앙공급장치(CCSS)은 초정밀의 여러가지 화학물질을 일정한 비율로 혼합한 후 설계된 프로그램에 따라 혼합된 화학물질을 순차적으로 공급·이송·혼합·폐기의 전 과정을 통합관리하는 자동화 장비다.

CCSS 시스템 구성을 살펴보면, 먼저 ACQC 시스템은 탱크로리에 담긴 케미컬을 대용량 저장탱크에 이송하기 위한 커플러 연결과정에 자동 세정 및 건조기능을 추가해 외부적 오염을 방지하며 이송 과정에서 탱크로리 가압과 배기를 도와 안전하게 이송 될 수 있도록 도와준다.

Transfer 시스템은 대용량 저장소의 약품을 고성능 펌프를 이용해 먼 거리의 공급 대상 설비에 이송 또는 공급 설비로 유량을 분배한다. 압력손실 및 수두 등 설계 조건을 고려해 안정성을 확보할 수 있다.

화약약품의 최종 공급을 담당하는 Supply 시스템은 불순물을 제거한 화학약품을 탱크에 저장하고 질소가스 가압을 통해 고품질 필터를 한 번 더 거쳐 공급한다. Mixing 시스템은 고농도의 물질을 반도체 및 디스플레이 제조공정에 필요한 농도로 희석하는 설비로 순차 혼합 방식을 이용해 높은 희석액 생산량을 보장한다.

한양이엔지의 CCSS는 안전성 확보와 화확물질의 농도 유지 및 효율성을 향상시켜 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 역할을 수행하고 있으며, 태양광 설비 등 광범위한 첨단 산업 분야에 사용되고 있다.

국내 뿐만이 아니라 해외에서도 인정받고 있는 한양이엔지의 CCSS 장비는 설계, 제조, 검사, 설치 단계 전반에 걸쳐서 엄격한 품질 표준에 의해 관리되고 있으며, 현재 국내외 기업들에게 공급하고 있다.

한양이엔지 시스템BU 국내영업부 백인학 상무는 “한양이엔지는 지속적인 연구개발과 시장개척을 통해 반도체, 디스플레이 사업은 물론 산업플랜트, 가스, 환경, 그린에너지 및 우주 항공 분야에서도 최적화된 품질 및 서비스를 제공하는 토털 솔루션 기업이 되도록 노력할 것”이라고 밝혔다.

▲ `세미콘 코리아 2022`에 참가한 한양이엔지의 부스 전경