▲ 세미콘코리아 2022에 참가한 원익머트리얼즈의 부스 전경

반도체 및 산업용 특수 가스 제조 전문 기업인 원익머트리얼즈(대표이사 한우성)가 수준 높은 반도체용 특수가스 및 전구체 공급을 통해 ‘K-반도체’ 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

원익머트리얼즈는 2월 9일부터 11일까지 코엑스 전시장에서 열린 ‘세미콘 코리아 2022’에 참가했다.

이번 전시회에서 원익머트리얼즈는 국내외 반도체 제조 공정에 공급하고 있는 NH3(암모니아), CO2(이산화탄소), N2O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H6(디실란) 등의 특수가스와 High-K 및 실리콘·메탈 전구체를 선보였다.

반도체 공정의 핵심소재인 특수가스는 고순도를 요구하는 경우가 많고 초기 대규모 자본 및 기술적 안정성과 신뢰성 문제와 더불어 외국 기업들이 시장의 절반 이상을 차지하고 있어 시장 진입이 어렵다.

또한 일본의 수출규제, 글로벌 물류대란 등으로 인한 소재 공급 차질이 국내 반도체 업계의 위기로 이어지면서 특수가스의 국산화 및 안정적인 공급에 대한 관심도 높아지고 있다.

원익머트리얼즈는 지속적인 기술 개발과 선제적인 투자를 통해 글로벌 가스메이커들이 독점해오던 특수가스의 국산화를 차근차근 성공시켰다. 2003년 PH3 혼합가스를 비롯한 수종의 반도체용 특수가스를 국산화해 국가 경쟁력 향상에 기여해 왔다.

현재 원익머트리얼즈는 고순도의 NH3, CO2, N2O, GeH₄, Si₂H6, Xe(제논) 등 다양한 특수가스를 삼성전자 및 SK하이닉스 등 반도체 및 디스플레이 회사에 공급하고 있다.

더불어 원익머트리얼즈는 지난해 에칭가스로 주목받고 있는 황화카보닐(COS)을 국산화는데 성공했다. 올해 6월 공장 가동과 2023년 고객사 공급을 목표로 현재 공장 건설이 진행중이고, 연산 200톤 규모의 생산캐파를 확보할 계획이다.

최근 EUV(극자외선) 등 초미세 광원 등을 이용한 3nm 및 5nm급 반도체가 개발되면서 반도체 공정 미세화에 따른 누설 전류 문제를 해결하기 위한 소재로 전구체(precursor)가 주목받고 있다.

전구체로 웨이퍼 표면에 순수 금속막, 산화 금속막 등 필요한 유기금속화합물을 균일한 두께 또는 초미세 박막으로 형성이 가능해, 박막형성 공정의 성패에 있어서 전구체 선정이 무엇보다 중요하다.

이에 원익머트리얼즈는 High-K를 포함, 실리콘·메탈 증착용 전구체를 생산하고 있고, 전구체 R&D센터를 설립해 기술연구를 더욱 강화하고 차세대 신소재 개발과 더불어 원천 기술확보에 힘쓰고 있다.

▲ 원익머트리얼즈는 자사의 반도체 특수가스 및 전구체 제품군을 소개했다.