▲ 미코 그룹 관계자가 자사의 기술력을 소개하고 있다.

첨단소재부품 전문기업 미코 그룹이 지난 6~8일 일산 킨텍스에서 개최된 나노코리아 2022에서 미코세라믹스, 코미코, 미코파워 등 자회사의 세라믹 소재부품 기술력을 선보였다.

첨단 세라믹 소재부품 전문기업 미코(회장 전선규)는 다양한 세라믹 소재 전문 기술력을 바탕으로 반도체 장비용 소재부품 제작 및 코팅을 위한 파우더, 디스플레이 장비용 정전척을 제작해 국내외 주요 고객사들에 공급하고 있다.

미코는 고부가가치 제품인 첨단 세라믹 소재 원천기술을 확보해 관련부품 개발에 성공해 고가의 반도체, 디스플레이 제조장비용 부품 개발과 세계 시장 진출로 해외 유수 기업과 경쟁하며 기술력을 인정받고 있다.

이번 전시회에서는 미코와 물적분할을 통해 사업부문이 분리된 미코세라믹스, 코미코, 미코파워 등 자회사 기술을 홍보했다. 미코그룹의 세라믹 소재들과 미코세라믹스의 반도체 공정 장비용 세라믹 부품 제조 기술, 코미코의 부품 세정 및 코팅 기술, 미코파워의 고체산화물연료전지 기술 등을 소개했다.

▲ 미코그룹의 세라믹 파우더 소재 기술력

미코는 Al2O3 (Alumina), Y2O3 (Yittria), AlN (Aluminium nitride) 등과 같은 다양한 세라믹 소재들을 고객에게 공급하고 있다. 세라믹 소재들은 반도체 장비용 부품 제작 및 코팅, 디스플레이 장비용 부품 제작 및 코팅, 고체산화물 연료전지 (SOFC) 시스템용 Cell 제작 등에 사용된다.

코미코는 세계 최고의 글로벌 반도체 장비 부품 세정·코팅 전문 회사로 도약을 위해 끊임없는 연구개발을 진행 중이다. 한국을 포함한 미국, 중국, 대만, 싱가폴 현지에 첨단세정, 코팅 공장을 설립해 전 세계 우수 반도체 칩메이커로부터 품질을 인정받고 있다.

▲ 미코세라믹스의 기술력 소개

미코세라믹스는 반도체 공정장비용 세라믹 부품 전문기업으로 2020년 미코로부터 물적분할됐다. 대부분 수입에 의존해오던 반도체 장비용 세라믹 소재부품을 국산화해 세계 유수의 기업들과 거래를 이어가고 있다.

미코세라믹스는 Al2O3, Y2O3, AlN (Aluminum Nitride) 및 YAG와 같은 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 AlN Heater(Pedestal), ESC와 같은 기능성 제품에서부터 일반적인 소모성 부품까지, 고객이 요구하는 세라믹 소재 부품들을 제공하고 있다. 

▲ 미코파워의 SOFC기술 소개

미코파워는 고체산화물 연료전지(SOFC) 전문기업이다. SOFC는 수소와 산소를 이용해 전기 및 열에너지를 생산할 수 있는 고효율 친환경 발전시스템으로 최소 설치면적으로 기존 가스 인프라를 활용할 수 있다는 장점이 있다.

미코는 SOFC 시스템 브랜드인 TUCY 제품군을 통해 미세먼지 저감 등 환경이슈에 기여하고 바이오가스, 그린수소, 도시가스 등 다양한 연료를 활용한 고효율 시스템 모델을 제시함으로써 산업계의 탄소저감에 기여할 계획이다. 

이밖에도 미코는 독자기술인 Qubepower 스택의 모듈화 기술을 이용해 다양한 SOFC 시스템을 출시하고 발전용, 선박용 등에 적용 가능한 시스템을 개발하고 있다.