산업통상자원부(장관 이창양)가 반도체 초강대국 달성을 위해 새로운 장비 도입 및 반도체 공장 증설을 용이하게 하기 위해 고압가스 안전 부문 규제개선에 나선다.

산업부는 초미세 반도체 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비 국내 도입을 촉진하기 위해 전혁신 과제를 11개 선정, 기업 부담 완화에 나설 계획이라고 12일 밝혔다.

산업부는 반도체 식각용 가스 디플루오로메탄(CH2F2)와 반도체 도핑용 가스 삼불화붕소(BF3) 등 반도체용 특수가스의 수급안정을 위해 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 개선해 왔다.

특히, 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선 시 국내 반도체산업의 경쟁력을 한층 더 높일 수 있으며, 반도체 관련 단체 및 기업과의 간담회·현장방문 등을 통해 도출했다.

산업부는 올해 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대해 다양한 개선과제를 발굴했다.

이 중, 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 개선해 나가고 나머지 4개 과제에 대해서도 개선 방안을 모색해 나갈 계획이다.

산업부는 극자외선을 이용해 반도체 회로를 그려주는 차세대 EUV 장비의 국내 도입 시 걸림돌을 제거해 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고, 방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 지원할 계획이다.

현재 신소재 재질의 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV 장비가 개발완료 예정이나, 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내 사용 규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황이다.

이에 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후, 가스 상세기준을 개정해 국내 도입이 가능하도록 할 예정이다.

시행되고 있는 방호벽 설치 기준과 관련해 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하고, 방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치 가능해 공장 증설에 어려움이 있었다.

이에 가스 상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우, 케미컬앵커 등 다양한 지주설치 방법을 허용하고, 방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련해 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

또한 현재 용기보관함인 저장용 실린더캐비닛의 공장 내부에 설치 시, 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장증설 시 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 되어 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란했다.

규제개선을 통해 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다.

박일준 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”며, “앞으로도 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴하여 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.